반도체 장비의 particle 제거에 사용되는 고압펌프 유닛입니다.
24시간 연속 가동에도 잘 견딜 수 있도록 내구성을 강화하였습니다.
펌프 헤드 뿐만 아니라 필터나 연결부품도 모두 SUS로 제작하여 세척과정 중에 발생할 수 있는 이물질을 없앴습니다.